¿¢½Ã¸Ó (Excimer)´Â excited dimerÀÇ ¾àÀÚ·Î ¾ÈÁ¤»óÅ¿¡¼´Â ´Ü·®Ã¼·Î Á¸ÀçÇÏ´Â ¾Ë°ï°ú Ç÷ç¿À ¶óÀ̵å(ºÒ¼Ò)°¡
°íÀü¾ÐÀÌ
°É·Á ÈïºÐ»óÅ°¡ µÇ¸é ÀÌ·®Ã¼·Î º¯ÇÏ´Â °Í¿¡¼ ºñ·ÔµÈ ¸»ÀÔ´Ï´Ù.
ÈïºÐ»óÅÂÀÇ ¾Ë°ï Ç÷ç¿À¶óÀ̵å(Argon Fluoride) È¥ÇÕ°¡½º´Â
´Ù½Ã ¾ÈÁ¤µÈ »óÅ·Πµ¹¾Æ¿À¸é¼ 193§¬ÆÄÀåÀÇ ¿øÀڿܼ± ¹æÃⱤÀ» ³»º¸³»°Ô µÇ´Âµ¥ ÀÌ°ÍÀÌ ¿¢½Ã¸Ó ·¹ÀÌÀúÀÔ´Ï´Ù.
¿·Î ÀÎÇÑ
¼Õ»óÀ̳ª Ãæ°Ý¿¡ ÀÇÇÑ ±â°èÀû ¼Õ»óÀ» ÁÖÁö ¾ÊÀ¸¸é¼ laser°¡ Á¶»çµÈ °¢¸· Á¶Á÷ÀÇ ºÐÀÚ °áÇÕ ºÎÀ§¸¸À» Æı«½ÃÅ°±â ¶§¹®¿¡
'Cool laser'¶ó°íµµ ºÒ¸³´Ï´Ù.
¶Ù¾î³ Á¶Á÷ ÀýÁ¦È¿°ú¿Í ¿¬¸¶È¿°ú°¡ ÀÖÀ¸¸ç, Á¶Á÷ÀÇ º¯Çü¾øÀÌ ÄÄÇ»ÅÍ Á¦¾î¿¡ ÀÇÇؼ ÇÊ¿äÇÑ
°¢¸· ºÎÀ§¸¸À» Á¤È®ÇÏ°Ô ÀýÁ¦, ¿¬¸¶ÇÏ¿© ½Ã·ÂÀ» ±³Á¤ÇÒ¼ö ÀÖ¾î ·¹ÀÌÀú ½Ã·Â±³Á¤¼ö¼ú¿¡ ÁÖ·Î ¾²ÀÌ°í ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|